樫山kashiyama真空泵 NeoDry300E 无油干式 采用气镇（Gas Ballast)结构，可以排出水蒸汽 变频马达、低噪音、低震动

樫山kashiyama真空泵 NeoDry60E 无油干式 采用气镇（Gas Ballast)结构，可以排出水蒸汽 变频马达、低噪音、低震动

樫山kashiyama真空泵 NeoDry30E 无油干式 采用气镇（Gas Ballast)结构，可以排出水蒸汽 变频马达、低噪音、低震动

樫山kashiyama真空泵 NeoDry36E 无油干式 采用气镇（Gas Ballast)结构，可以排出水蒸汽 变频马达、低噪音、低震动

日本kashiyama真空泵 NeoDry15E 无油干式 采用气镇（Gas Ballast)结构，可以排出水蒸汽 变频马达、低噪音、低震动

日本樫山kashiyama真空泵NeoDry7E 无油干式 变频马达、低噪音、低震动

日本樫山kashiyama真空泵 SDL系列 大排量 1.可用于大尺寸的Wafer & FPD 大容量可组合使用。大于150kL/min的容量也可按要求提供。 2.缩短周期时间 大容量约为atm.压力，可实现高速泵送，*适合大型L/L室

日本樫山kashiyama真空泵 SDE-TX系列 SDE系列专注于苛刻的工艺耐久性 1.垂直螺丝，耐用性强，可防沉淀。 2.材质及温度设定，耐腐蚀。 严酷的工艺应用实例