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TORAY东丽 氧气分析仪

TORAY东丽 氧气分析仪 MS-500
东丽(TORAY)株式会社成立于1926年,总部位于日本东京。东丽集团是世界性的以有机合成、高分子化学、生物化学为核心技术的高科技跨国企业,是一家以合成纤维,合成树脂起家,现涉及涵盖各种化学制品,信息相关素材的大型化学企业。公司口号“Innovation by Chemistry“(化学革新创造)。

  • 产品型号:MS-500
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-08-15
  • 访  问  量:247
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联系电话:13024103468

详细介绍
品牌TORAY/东丽应用领域医疗卫生,能源,综合

TORAY东丽 氧气分析仪 MS-500

TORAY东丽 氧气分析仪 MS-500

氧气浓度计半导体、液晶、电子零部件相关应用

  • 最多可以同时测量8个点

  • 可以从ppm级别到100%的广泛浓度表示。

  • 安装在半导体制造装置、真空装置等上

  • 传感器为直插式(真空NW法兰16/25/40)

  • 对高耐久的传感器施以特殊涂层,进一步提高耐久性

測定原理ジルコニア濃淡電池式
形状分離型(変換器:壁掛式、センサ:直挿式)
表示方式デジタル4桁表示(濃度表示)
測定レンジ0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0atm
自動レンジ
繰返性±0.5%FS以内 0-1%レンジ以上
±1%FS以内または±0.1ppmの大きい方 0-1%レンジ未満
0-1ppm,atmレンジは濃度保証範囲外
測定点数1~8
サンプルガス条件圧力10-3~200KPa(絶対圧)
流量0.5~5,000mL/minまたは0mL/min(自然拡散状態の測定)
湿度露点が周囲温度以下
温度0~100℃
その他腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有機シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと
比較ガス大気
記録計出力伝送出力のみ
伝送出力RS-232C
警報出力なし
ウォームアップ時間6分以内
寸法MS-500(コントローラ)92(W)×44(H)×120(D) (突起部含まず)
MS-510(変換機)100(W)×40(H)×88(D) (突起部含まず)
センサユニットSD16NW全長100mm(センシング部Φ11×39,胴体部Φ40×51)
SD25NW全長100mm(センシング部Φ11×42,胴体部Φ40×48)
SD40NW全長100mm(センシング部Φ11×41,胴体部Φ40×49)
質量MS-500(コントローラ)約0.6Kg
MS-510(変換器)約0.5kg
センサユニットSD16NW約0.2Kg
SD25NW約0.2Kg
SD40NW約0.35Kg
外部接続真空フランジ(NW16,25,40)のいずれか
使用電源24VDC±10%




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